Plasma lõikamise kontroller koosneb peamiselt järgmistest komponentidest:
Kõrgsageduslik-toiteallikas: kasutatakse kõrgsagedusliku-elektrivälja genereerimiseks;
Sobiv võrk: kasutatakse kõrgsagedusliku-elektrivälja jaotuse reguleerimiseks plasmakambris;
Plasmakamber: kasutatakse gaasimolekulide ioniseerimiseks ja plasma genereerimiseks;
Vaakumsüsteem: tagab plasmakambri vaakumitaseme ja stabiilsuse;
Juhtsüsteem: kasutatakse plasma parameetrite juhtimiseks ja plasma elektriliste omaduste stabiilse kontrolli saavutamiseks.
